德赢VWIN

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股票代码:603396

PERTOP高效电池管式PECVD装备

焦点手艺

非晶硅在高温晶化时脱膜抑制手艺

低粉尘工艺手艺

沉积薄膜历程电chang阻抗系统稳态控制手艺

大面积匀称性控制手艺

等离子体脉冲氧化法制备超薄氧化硅手艺

“氧化硅+原位掺杂非晶硅”二合一工艺手艺

相关形貌

德赢VWIN股份与中科院宁波质料所睁开战略相助,探索出用管式PECVD装备实现PERTOP光伏电池焦点质料“超薄氧化硅+原位掺杂非晶硅”的制备,同时在抑制非晶硅爆膜、防止电chang导通、实现高效电池全工艺集成等关jian手艺方面取得了重大突破,推出了简化工艺流程解决方案。

等离子体zeng强型化学气象沉积(PECVD)手艺

依赖等离子电chang硅烷解离,沉膜速率快,掺杂效率高

定向沉积,绕镀稍微,制品率高

低温工艺,侵蚀性附产物少,耗材成本低

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